罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵，其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的，多用在罗茨真空机组中，有提高抽速和前级泵的真空度的作用。其实罗茨真空泵和罗茨鼓风机主机构造及原理都是一样的，罗茨鼓风机用于正压的工况，罗茨真空泵用于负压的工况，在结构上，二者的主机相同，只是在进出口上略有不同，罗茨鼓风机一般是用其排风出口连接工作管道，而罗茨真空泵则是用其吸风进口连接工作管道。
罗茨真空泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气。它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似，工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触，间隙一般为0.1～0.8毫米；不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高，加工精度易于保证，故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450～4100转/分；抽气速率为30～10000升/秒（1升=10-3米3）；极限真空：单级为6.5×102帕，双级为1×103帕。
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